FLP系列的特點
低脈動
通過激光位移傳感器和接近開關不斷監(jiān)控波紋管的位置。泵本身無需任何附加設備即可減少脈動，因為控制器確定了通過電磁閥左右移動波紋管所需的適當相移量。
減少傳感器
不需要外部傳感器，因為波紋管的泵相位控制完全取決于設計中包含的激光和接近傳感器的信號。
高壓力
最佳的波紋管運動增加了持續(xù)的壓力承受能力，在頻繁的負載變化下，尤其是在單晶片加工中，可保持穩(wěn)定的排放能力和壓力。
安全設計
焊接的波紋管結構可防止液體泄漏。即使波紋管損壞，內置的泄漏傳感器也會檢測并提供反饋，以確保安全操作。
